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UV光氧净化器污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体。
等离子光氧一体机是在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；二是等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合。
等离子光氧一体机采用低温等离子体分解油雾、废气污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。
污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。
光氧催化净化器的特点
1、光氧催化氧化适合在常温下将废臭气体完全氧化成无毒无害的物质，适合处理高浓度、气量大、稳定性强的有毒有害气体的废气处理。
2、通过光催化氧化可直接将空气中的废臭气体完全氧化成无毒无害的物质，不留任何二次污染，光氧催化氧化利用人工紫外线灯管产生的真空波紫外光作为能源来活化光催化剂，驱动氧化—还原反应，而且光催化剂在反应过程中并不消耗，利用空气中的氧作为氧化剂，有效地降解有毒有害废臭气体成为光催化节约能源的最大特点。
3、氧化性强：
半导体光催化具有氧化性强的特点，对臭氧难以氧化的某些有机物如四氯化炭、六氯苯、都能有效地加以分解，所以对难以降解的有机物具有特别意义。
4、广谱性：
光氧催化氧化对从烃到羧酸的种类众多有机物都有效，即使对原子有机物如卤代烃、染料、含氮有机物、有机磷杀虫剂也有很好的去除效果，只要经过一定时间的反应可达到完全净化。
光氧催化设备除臭法特点为：维护管理费用低，除臭效果与活性炭相当；占地多；不适于多暴雨多雪地区，对于高温、高湿和含水尘等气体须进行预处理。在废气治理的过程中，设计土壤脱臭时选择的土壤指标以腐殖土为好，亚粘土等红土需掺入鸡粪、垃圾和污泥肥料进行改良后使用，矿质土和粘土则不宜采用。
2、化学反应法除臭、加氯消毒除臭：此法机理是利用氯气的杀菌消毒作用除去水中有机物，杀灭藻类；对水体消毒，UV光氧催化设备使其保持一定的余氯量，确保杀菌的效果，采取在进水管网中加氯进行预消毒来控制恶臭，废气治理时污水中残存H2O2的最终将分解为水和氧气，而不会和其中的有机物形成一些对人体有害的物质。
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